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    成分分析

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    结构鉴定

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    原位分析

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    高低温探针电学/光电测量系统（I-V/C-V/脉冲电学测试）

    仪器编号：20106106-9016

    联系方式：18680367989

    放置地点：云谷校区学术环E10-138

    开放范围：校内/校外

    自主操作 送样检测

    实验室：综合物性分析实验室

    职位：无

    邮箱：yangzhen@westlake.edu.cn

    仪器编号 20106106-9016 联系方式 18680367989
    放置地点 云谷校区学术环E10-138 开放范围 校内/校外
    自主操作 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.809.records 送样检测 https://share.westlake.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.809.sample
    实验室 综合物性分析实验室 职位 无
    邮箱 yangzhen@westlake.edu.cn
    • 新利18体育官网登录 信息
    • 技术资料
    • 收费标准
    仪器编号 20106106-9016 规格 Summit1100B-M&B1500A&Axioscope
    生产厂家 德国 型号
    制造国家 德国 分类号 010899
    放置地点 云谷校区学术环E10-138 出厂日期 2022/10/12
    购置日期 2022/05/20 入网时间 2022/10/12
    主要规格及技术指标 "一、探针台
    1.探针台满足8英寸低噪声晶圆直流测试，温度范围-60-300℃；
    2.探针台配置4个直流探针座+2个射频探针座， X/Y/Z移动范围：不低于12.5mm*12.5mm*12.5mm，精度不低于 100TPI(250um/turn)
    3.具备3同轴载物台（≥8in.能兼容6in.和4in.晶圆），X-Y 轴行程：≥203mm*203mm，θ方向：转动角度范围+/-5.5°；
    4.载物台漏电：≤15fA@温控系统关闭；≤20fA@25℃ ；
    5.磁吸三轴转换连接面板: 两个 ；
    6.其他：配备数码电子显微镜，内置双CCD；放大倍率50倍到500倍连续可变；并具备Top-Hat盖帽板，保证良好的电磁与光屏蔽的精密量测环境，保证fA级测试精度；光强衰减大于120dB
    二、B1500A
    1、最大吸收电流：4.2 A。
    2、高功率SMU模块：a.电压范围：±200 V；b.电流范围：±1 A；c.电压测量分辨率：2uV；d.电流测量分辨率：10 fA。
    3、高精度SMU模块：a.电压范围：±100 V；b.电流范围：±100 mA；c.电压测量分辨率：0.5 uV；d.电流测量分辨率：1 fA。
    4、配有一个电容电压测试模块：a.频率范围：1 KHz~5 MHz；b.偏置电压范围：±25 V；c.测量精度：0.2 %。
    5、脉冲发生模块：a.最小脉冲宽度：50ns；b.重复频率：0.1 Hz~33 MHz；c.上升时间：15 ns；d.脉冲发生器电压范围：±40 V。
    6、配有一个任意波形发生测量模块：a.最小输出脉冲宽度：50 ns；b.最小测量脉冲宽度：145ns；c.快速脉冲电压范围：±10 V；d.快速脉冲电流范围：±10 mA；e.示波器功能采样速度：5 ns。
    7、配有电压扩展模块，可将偏置电压扩展到±100V，并且实现IV/CV自动切换功能。
    8、配有电压模块和脉冲模块的切换模块。
    三、显微镜
    1.正置照相显微镜，配置LED光源和HXP荧光光源，光路采用无限远轴向及径向双重色差校正及反差增强型光路系统。
    2.物镜转盘：6孔及以上带编码明暗场DIC物镜转盘，各物镜在切换时齐焦同轴，配有透/反射光明场、高级暗场、C-DIC、偏光、荧光和相衬观察方式；其中荧光滤块：10号绿色荧光带通滤块、20号Rhodamin荧光带通滤块、49号DAPI荧光带通滤块
    3.10X宽视野三目镜筒，视场数≥23mm。
    4.机械载物台行程：X方向不低于75mm，Y方向不低于50mm.
    5.套制冷型CCD相机，600W像素。"
    主要功能及特色 可以进行常温和变温（-60-300℃）条件下的 IV、CV、脉冲/动态 I-V 等参数测量。 主机和插入式模块能够表征大多数电子器件、材料、半导体和有源/无源元器件。可以在 CV 和 IV 测量之间快速切换，无需重新连接线缆。能够捕获其他传统测试仪器无法捕获的超快速瞬态现象。能够检测 1 kHz 至 5 MHz 范围内的多频交流电容测量值。HV-SPGU可生成电压高达 ± 40 V、脉宽最小 10 ns 的脉冲– 先进输出电压监测功能可监测脉宽最小 5 µs 的脉冲信号，WGFMU可编程分辨率达到 10 ns 的波形生成功能– 能够同时执行高速 IV 测量（200 Msa/s， 5 ns 采样间隔）。配置两个专用光波探针， 单模， 适用波长范围：1300nm～1550nm。


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    类型

    项目

    细则

    校内

    校外

    说明

    自主上机

    全温区范围内的I-V、C-V测量

    以装样、拆样时间点为计时点；需预约并经过培训和考核后自主上机操作

    240元/时

    /

    /

    委托测试

    全温区范围内的I-V、C-V测量

    以装样、拆样时间点为计时点

    350元/时

    450元/时

    委托测试请提供明确测试需求及条件；实验参数摸索或特殊实验条件准备计入测试时间内

    培训

    基础/高阶培训

    一对一/一对二培训培训；同等内容的第二次培训，收费1.5倍

    400元/时/人

    /

    需熟练掌握基础测试培训后开放高阶培训

    注：

    （1）用户需承担耗材费和操作不当产生的所有费用，若探针被样品污染/损坏，需自行回购；


    校内连接
    实验室与科研设施部
    生物医学实验技术中心
    先进微纳加工与测试平台
    分子科学公共实验平台
    实验动物中心
    高性能计算中心
    校外连接
    清华大学仪器共享服务平台
    上海交通大学分析测试中心
    浙江大学大型仪器共享平台

    联系地址：浙江省杭州市西湖区云栖小镇石龙山街18号

    邮 编：310024

    联系电话：0571-86912897

    邮 箱：lhpt@westlake.edu.cn

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